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Unveiling the mechanism of high removal rates for amorphous carbon CMP with cerium ammonium nitrate: The synergistic role of Ce4+/Ce3+
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.167562
DOI
10.1016/j.apsusc.2026.167562 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Ziyang Wang; Minha Kim; Jinhyoung Lee; Hyeonjeong Lee; Yechan Kim; et al
出版日期：2026-11-01
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我爱刘惜君 在 2026-09-28 11:06:25 发布自安徽，悬赏 10 积分
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