The effect of isopropyl alcohol on etching rate and roughness of (1 0 0) Si surface etched in KOH and TMAH solutions - 科研通

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标题	The effect of isopropyl alcohol on etching rate and roughness of (1 0 0) Si surface etched in KOH and TMAH solutions
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0924-4247(01)00648-3
DOI	10.1016/s0924-4247(01)00648-3 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Irena Zubel; Małgorzata Kramkowska 出版日期：2001-09-01
求助人	Quenchingstar 在 2026-10-06 23:13:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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