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 Area-Selective Deposition of AlOx and Al-Silicate for Fully Self-Aligned Via Integration 用于全自对准通孔集成的AlOx和铝硅酸盐的区域选择性沉积
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Mattia Pasquali; A. P. Brady; A. Leśniewska; Patrick Carolan; Thierry Conard; et al 出版日期：2023-01-17 |
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