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 Improvement of SiC deposition uniformity in CVD reactor by showerhead with baffle 带挡板喷头改善CVD反应器SiC沉积均匀性
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Qizhong Li; Yixuan Zhang; Baifeng Ji; Song Zhang; Rong Tu 出版日期：2023-08-01 |
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