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标题
Growth of 4″ diameter polycrystalline diamond wafers with high thermal conductivity by 915 MHz microwave plasma chemical vapor deposition
915MHz微波等离子体化学气相沉积法生长4″直径高导热多晶金刚石晶片
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DOI
10.1088/2058-6272/19/3/035503 doi
其它 期刊:Plasma Science and Technology
作者:А. Ф. Попович; V. G. Ralchenko; Vamsi Krishna Balla; A.K. Mallik; А.А. Khomich; et al
出版日期:2017-02-21
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刘学 在 2025-06-20 18:12:06 发布自广东,悬赏 10 积分
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