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![]() 915MHz微波等离子体化学气相沉积法生长4″直径高导热多晶金刚石晶片
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期刊:Plasma Science and Technology 作者:А. Ф. Попович; V. G. Ralchenko; Vamsi Krishna Balla; A.K. Mallik; А.А. Khomich; et al 出版日期:2017-02-21 |
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