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Nitrogen-doped plasma enhanced chemical vapor deposited (PECVD) amorphous carbon: processes and properties
作者
Steven M. Smith,
S. Voight,
Harland G. Tompkins,
Andy Hooper,
A. Alec Talin,
Joseph B. Vella
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2001-11-01
卷期号：398-399: 163-169
被引量：24
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(01)01425-0
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