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 XPS analysis and electrical conduction mechanisms of atomic layer deposition grown Ta2O5 thin films onto p-Si substrates p-Si衬底原子层沉积Ta2O5薄膜的XPS分析及导电机理
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Spyridon Korkos; N. Xanthopoulos; Martha A. Botzakaki; Charalampos Drivas; S. Kennou; et al 出版日期：2020-03-13 |
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