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标题
Formation of the Al3Si metastable phase in Al-Si films obtained by ion-beam sputtering according to experimental and theoretical data
离子束溅射Al-Si薄膜中Al3Si亚稳相的形成
相关领域
亚稳态 溅射 衍射 离子 离子束 薄膜 化学 相（物质） 材料科学 光谱学 格子（音乐） 分析化学（期刊） 光学 纳米技术 物理 色谱法 量子力学 有机化学 声学
网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.139816
DOI
10.1016/j.tsf.2023.139816 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：V. A. Terekhov; É. P. Domashevskaya; С. И. Курганский; D. N. Nesterov; Konstantin A. Barkov; et al
出版日期：2023-03-25
求助人
刻苦的易形 在 2025-12-17 15:24:44 发布自四川，悬赏 10 积分
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    刻苦的易形 刻苦的易形 Lv1 求助人 发起了本次求助

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