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 Design of high-frequency surface acoustic wave resonator based on IDT/etched-AlN/IDT/AlN/diamond multilayer structure 基于IDT/蚀刻AlN/IDT/AlN/金刚石多层结构的高频声表面波谐振器设计
相关领域
材料科学
谐振器
钻石
声表面波
光电子学
声学
复合材料
物理
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yongjie Fan; Hongwei Xia; Wen Yang; Yufang Liu 出版日期：2025-09-05 |
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