On uniformity and non-local transport in low pressure capacitively coupled plasmas

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标题	On uniformity and non-local transport in low pressure capacitively coupled plasmas 低压电容耦合等离子体的均匀性和非局域输运相关领域等离子体原子物理学电子温度电子细胞内颗粒托尔动能容性耦合等离子体航程（航空）电场离子等离子体诊断等离子体参数化学物理感应耦合等离子体材料科学核物理学热力学量子力学复合材料有机化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/abac4a
DOI	10.1088/1361-6595/abac4a doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Shahid Rauf 出版日期：2020-08-04
求助人	寂寞剑仙在 2025-09-13 21:10:39 发布自中国，悬赏 10 积分
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