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标题	Performance evaluation of GaN etching using Cl2-based plasma with bias pulsing
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003703
DOI	10.1116/6.0003703 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Simon Ruel; Patricia Pimenta‐Barros; Maxime Pezeril; Philippe Thoueille; François Gaucher; et al 出版日期：2024-06-18
求助人	RaynorHank 在 2026-08-20 18:00:39 发布自浙江，悬赏 10 积分
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