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标题
Fabrication and testing of a large area, high density, parylene MEMS
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/5724748/5734339/05734604...
DOI
10.1109/memsys.2011.5734604 doi
其它 期刊：2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
作者：P. Ledochowitsch; R. J. Felus; R. R. Gibboni; A. Miyakawa; S. Bao; et al
出版日期：2011-03-18
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等待的忆枫 在 2026-09-21 16:48:12 发布自山东，悬赏 10 积分
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  • 6小时前

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    16:48:15 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 6小时前

    等待的忆枫 等待的忆枫 Lv11 求助人 发起了本次求助

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