Study on anisotropic silicon etching characteristics in various surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide water solutions

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标题	Study on anisotropic silicon etching characteristics in various surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide water solutions
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/15/11/006
DOI	10.1088/0960-1317/15/11/006 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Chii-Rong Yang; Cheng-Hao Yang; Po-Ying Chen 出版日期：2005-09-21
求助人	VIEAAA 在 2026-08-13 22:33:46 发布自江苏，悬赏 10 积分
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