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  Deposition Behavior in Atmospheric-Pressure Plasma CVD Evaluated by a Quartz Crystal Microbalance 相关领域
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期刊：Plasma 作者：Kenichi Yamazaki; Hiroyuki Yasui; Tsuyoshi Noguchi; Yuuma Suenaga; Akitoshi Okino 出版日期：2026-03-17 |
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