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标题
Growth and Reduction of Tiny Particle Defects in Selective SiGe Epitaxy S/D Devices
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10219185/10219154/102193...
DOI
10.1109/cstic58779.2023.10219391 doi
其它 期刊：China Semiconductor Technology International Conference
作者：Zhiqiang Xiao; Cunzhe He; Dongliang Gao; Jiaxing Xiao; Haitao Yan; et al
出版日期：2023-06-26
求助人
want 在 2026-08-03 12:25:10 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 19天前，求助关闭

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  • 19天前

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  • 19天前

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