A high-bandwidth compact micro/nano-positioning stage based on a double parallelogram compliant mechanism

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标题	A high-bandwidth compact micro/nano-positioning stage based on a double parallelogram compliant mechanism
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-665X/addf95
DOI	10.1088/1361-665X/addf95 doi
求助人	关我什么事在 2026-09-06 12:05:45 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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