| 标题 |
Photoblanks for advanced lithography based on Corning high-purity fused silica (HPFS) |
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| DOI |
10.1117/12.485404
doi
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| 其它 |
期刊:Proceedings of SPIE 作者:R.M. Walton 出版日期:2003-06-25 |
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(2025-6-4)