Impact of spacer dielectric materials on advanced stacked nanosheet field effect transistors

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标题	Impact of spacer dielectric materials on advanced stacked nanosheet field effect transistors
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S277301232...
DOI	10.1016/j.micrna.2026.208576 doi
其它	期刊：Micro and Nanostructures 作者：M. Balasubrahmanyam; Ekta Goel; Kunal Singh; Sanjay Kumar 出版日期：2026-01-18
求助人	落寞晓兰在 2026-03-04 23:25:58 发布自安徽，悬赏 10 积分
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