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 Direct Growth of Lithium Niobate Thin Films for Acoustic Resonators 声谐振器用铌酸锂薄膜的直接生长
相关领域
薄膜
材料科学
铌酸锂
光电子学
纳米技术
化学气相沉积
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| 其它 |
期刊： 作者：Zhen Ye; Qibin Zeng; Celine Sim; Baichen Lin; Hui Kim Hui; et al 出版日期：2023-07-07 |
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