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![]() 一种基于弯曲和运动解耦的准对称结构XYZ纳米定位台
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期刊:Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者:Haoyu Shi; Guilin Yang; Haonan Li; Jie Zhao; Hongtao Yu; et al 出版日期:2024-06-01 |
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