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标题
Long-term stability and disappearing anode effects during reactive DC and pulsed bipolar magnetron sputtering of Al2O3
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2019.109161 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Pavel Mareš; Stanislav Kadlec; Martin Dubau; Aleš Marek; Jiří Vyskočil
出版日期:2019-12-25
求助人
杨小小 在 2026-11-04 14:51:57 发布自江苏,悬赏 10 积分
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