| 标题 |
Hotspot detection in large-scale layout with proposal sampling and feature parameters optimization |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者:Tianyang Gai; Ying Chen; Xiaojing Su; Tong Qu; Shuhan Wang; et al 出版日期:2021-11-22 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人或该文件上传人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)