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![]() 氮化硅坩埚多晶硅锭的组织和电学性能
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期刊:AIP conference proceedings 作者:Rania Hendawi; Rune Søndenå; Arjan Ciftja; Gaute Stokkan; L. Arnberg; et al 出版日期:2022-01-01 |
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ZHANGLinlin
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