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标题
[高分] Advanced dry etching of GaAs/AlGaAs multilayer wafer with InAs quantum dot for circular defect in photonic crystal laser
InAs量子点GaAs/AlGaAs多层晶片圆形缺陷的高级干法刻蚀
相关领域
干法蚀刻 激光阈值 材料科学 光电子学 蚀刻（微加工） 薄脆饼 激光器 量子点 光子晶体 反应离子刻蚀 Crystal（编程语言） 光学 纳米技术 波长 物理 图层（电子） 程序设计语言 计算机科学
网址
https://www.jstage.jst.go.jp/article/elex/20/7/20_20.2023005...
AI链接 go.jp go.jpdoi.org
DOI
10.1587/elex.20.20230054 doi
其它 期刊：IEICE Electronics Express
作者：Yuki Adachi; Yifan Xiong; Hanqiao Ye; Rubing Zuo; Masaya Morita; et al
出版日期：2023-03-02
求助人
蒙杜木古 在 2025-08-28 13:12:19 发布，悬赏 150 积分
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