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Dry etching utilizing showered electron beam assisted etching
作者
S. Matsui,
Heiji Watanabe
出处
期刊:
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期:1992-03-01
卷期号:17 (1-4): 337-340
标识
DOI:10.1016/0167-9317(92)90069-4
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