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 Monolithic Microfabricated Valves and Pumps by Multilayer Soft Lithography 多层软光刻技术在阀门和泵整体微加工中的应用
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期刊：Science 作者：Marc Unger; Hou-Pu Chou; Todd Thorsen; Axel Scherer; Stephen R. Quake 出版日期：2000-04-07 |
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