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标题
Process Flow Modelling and Characterisation of Stacked Gate-All-Around Nanosheet Transistors
堆叠式全栅纳米片晶体管的工艺流程建模与表征
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纳米片 制作 晶体管 CMOS芯片 场效应晶体管 材料科学 逻辑门 扩散 纳米技术 光电子学 物理 计算机科学 电气工程 算法 工程类 电压 病理 热力学 医学 替代医学
网址
http://dx.doi.org/10.1109/NANO54668.2022.9928725
DOI
10.1109/NANO54668.2022.9928725 doi
求助人
PN_Allen 在 2024-02-22 16:49:15 发布自上海，悬赏 10 积分
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