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Residual stress analysis and control of multilayer flexible moisture barrier films with SiNx and Al2O3 layers
SiNx和Al2O3层多层柔性防潮膜的残余应力分析与控制
相关领域
材料科学 残余应力 复合材料 聚萘二甲酸乙二醇酯 等离子体增强化学气相沉积 原子层沉积 图层（电子） 化学气相沉积 氮化硅 纳米技术
网址
https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.5037953
DOI
10.1063/1.5037953 doi
其它 期刊：AIP Advances
作者：Jang Soon Park; Sang Heon Yong; You Jin Choi; Heeyeop Chae
出版日期：2018-08-01
求助人
无奈的萝 在 2025-12-05 18:37:13 发布自江苏，悬赏 10 积分
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