Deep reactive ion etching of Pyrex glass using SF6 plasma

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标题	Deep reactive ion etching of Pyrex glass using SF6 plasma Pyrex玻璃的SF6等离子体深度反应离子刻蚀相关领域反应离子刻蚀等离子体蚀刻（微加工）材料科学离子等离子体刻蚀深反应离子刻蚀分析化学（期刊）光电子学复合材料化学色谱法有机化学物理核物理学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/s0924-4247(00)00482-9
DOI	10.1016/s0924-4247(00)00482-9 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Xinghua Li; Takashi Abe; Masayoshi Esashi 出版日期：2001-01-01
求助人	南充市第一中学在 2025-12-19 20:34:58 发布自福建，悬赏 10 积分
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