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标题
Modeling of high power impulse magnetron sputtering discharges with tungsten target
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac774a
DOI
10.1088/1361-6595/ac774a doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Swetha Suresh Babu; Martin Rudolph; Daniel Lundin; Tetsuhide Shimizu; Joel Fischer; et al
出版日期：2022
求助人
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