发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Electron-induced chemical transformation of vapor-phase synthesized hybrid resist materials for EUV and beyond EUV lithography
相关领域
极紫外光刻 材料科学 抵抗 平版印刷术 X射线光刻 下一代光刻 转化（遗传学） 纳米技术 光电子学 电子束光刻 生物化学 基因 化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1557/s43580-024-01075-w
AI链接 osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1557/s43580-024-01075-w doi
其它 期刊：MRS Advances
作者：Dan N. Le; Jean-François Veyan; Thi Thu Huong Chu; L. R. Wilson; Linh Pham; et al
出版日期：2024-12-31
求助人
火火 在 2025-11-27 13:32:43 发布自中国，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Sub-5keV electron-beam lithography in hydrogen silsesquioxane resist
  2. EUV resists towards 11nm half-pitch
  3. PMMA resist profile and proximity effect dependence on the electron-beam lithography process paramet...
  4. A Simple Fabrication Process of T-Shaped Gates Using a Deep-UV/Electron-Beam/Deep-UV Tri-Layer Resis...
  5. Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography
  6. Comparative study of the sidewall shape and proximity effect of the AR-N 7520 negative electron beam...
  7. Study and comparison of resist characteristics for different negative tone electron beam resists
  8. Contrast And Sensitivity Trade-Offs Of Resist Processing In Electron Beam Lithography At 0.5μM And ...
  9. Process Research of Novel Electron Beam Lithography Resist Calixarene Used in Nanofabrication
  10. Study of Proximity Effects in HSQ e-Beam Resist on TiO2 Thin Film
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

    当前有 3 位研友正在围观本求助： 浮游 浮游 snotman snotman 火火 火火

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    13:32:49 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    13:32:45 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    13:32:43 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    火火 火火 Lv12 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
CipherSage的应助被逐影采纳，获得10
刚刚
李健的应助被beta采纳，获得10
刚刚
小青椒的应助被keke采纳，获得30
1秒前
wanci的应助被谢俞采纳，获得10
1秒前
咚咚发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
3333完成签到，获得积分10
1秒前
xuan发布了新的文献求助30
1秒前
2秒前
Tiny完成签到，获得积分10
2秒前
跳跃白竹发布了新的文献求助10
3秒前
LGZ发布了新的文献求助10
3秒前
脑洞疼的应助被zpbb采纳，获得10
3秒前
orixero的应助被令狐擎宇采纳，获得10
3秒前
外向的匕完成签到，获得积分10
4秒前
choiiianh发布了新的文献求助30
4秒前
5秒前
xiao发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
LL完成签到，获得积分10
5秒前
6秒前
遇见发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
英俊的铭的应助被Li采纳，获得10
8秒前
8秒前
9秒前
小蘑菇的应助被晴晴晴采纳，获得10
9秒前
9秒前
9秒前
解放之鼓完成签到，获得积分10
9秒前
10秒前
逐影完成签到，获得积分20
10秒前
Luminous发布了新的文献求助10
10秒前
传奇3的应助被111采纳，获得10
11秒前
11秒前
艺馨完成签到，获得积分10
11秒前
11秒前
11秒前
11秒前
12秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
HIGH DYNAMIC RANGE CMOS IMAGE SENSORS FOR LOW LIGHT APPLICATIONS 1500
Constitutional and Administrative Law 1000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.). Frederic G. Reamer 800
Holistic Discourse Analysis 600
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
Vertebrate Palaeontology, 5th Edition 530
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5351663
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4484642
关于积分的说明 13959937
捐赠科研通 4384271
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2408898
邀请新用户注册赠送积分活动 1401448
关于科研通互助平台的介绍 1374928
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通