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 Folded MEMS Platform Based on Polymeric Flexible Hinges for 3D Integration of Spatially-Distributed Sensors 基于聚合物柔性铰链的折叠式MEMS平台用于空间分布传感器的三维集成
相关领域
铰链
帕利烯
制作
材料科学
微电子机械系统
聚酰亚胺
平面的
纳米技术
聚合物
计算机科学
机械工程
复合材料
图层（电子）
工程类
病理
替代医学
计算机图形学（图像）
医学
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| 其它 |
期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Yu-Wei Lin; Alexandra Efimovskaya; Andrei M. Shkel 出版日期：2021-10-08 |
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