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Folded MEMS Platform Based on Polymeric Flexible Hinges for 3D Integration of Spatially-Distributed Sensors
基于聚合物柔性铰链的折叠式MEMS平台用于空间分布传感器的三维集成
相关领域
铰链 帕利烯 制作 材料科学 微电子机械系统 聚酰亚胺 平面的 纳米技术 聚合物 计算机科学 机械工程 复合材料 图层（电子） 工程类 病理 替代医学 计算机图形学（图像） 医学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2021.3109034
DOI
10.1109/jmems.2021.3109034 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Yu-Wei Lin; Alexandra Efimovskaya; Andrei M. Shkel
出版日期：2021-10-08
求助人
zhangxp 在 2025-11-18 09:01:07 发布自河南，悬赏 10 积分
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