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标题
An SOI-MEMS Acoustic Sensor Based on Optical Grating Interferometer
基于光栅干涉仪的SOI-MEMS声学传感器
相关领域
电容感应 材料科学 绝缘体上的硅 微电子机械系统 话筒 干涉测量 振膜（声学） 栅栏 压阻效应 光学 光电子学 声学 声压 振动 硅 电气工程 工程类 物理
网址
https://doi.org/10.1109/jsen.2023.3239211
DOI
10.1109/jsen.2023.3239211 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Journal
作者：Yan Li; Minghao Zuo; Jifang Tao
出版日期：2023-01-27
求助人
沈平灵 在 2025-12-16 15:48:06 发布自河南，悬赏 10 积分
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