Low Temperature and Atmospheric Pressure CVD Using Polysiloxane, OMCTS, and Ozone

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标题	Low Temperature and Atmospheric Pressure CVD Using Polysiloxane, OMCTS, and Ozone
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/1.2085489
DOI	10.1149/1.2085489 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：K. Fujino; Y. Nishimoto; N. Tokumasu; K. Maeda 出版日期：2006-06-14
求助人	biubiu 在 2026-02-02 16:04:20 发布自湖北，悬赏 10 积分
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