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 Composition, structure, and magnetic properties of SiCxNyFez films produced by the PECVD method from a gas mixture of 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, ferrocene, and helium 用PECVD法从1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷、二茂铁和氦的气体混合物制备SiCxNyFez薄膜的组成、结构和磁性
相关领域
材料科学
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期刊：Colloids and surfaces. A, Physicochemical and engineering aspects 作者：А. Г. Плеханов; E. A. Maksimovskiy; В. В. Кривенцов; И. В. Корольков; Аndrey А. Saraev; et al 出版日期：2022-12-01 |
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