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Influence of SiO2–ZnO mixed soft abrasive on tribological behavior and polishing performance of sapphire wafer
相关领域
材料科学 磨料 薄脆饼 蓝宝石 抛光 摩擦学 化学机械平面化 冶金 复合材料 纳米技术 光学 物理 激光器
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108318
DOI
10.1016/j.mssp.2024.108318 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Ziyuan Luo; Jiabin Lu; Qiusheng Yan; Da Hu; Yongze Zhou
出版日期：2024-03-12
求助人
qqqq 在 2025-11-25 10:04:20 发布自山东，悬赏 10 积分
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