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标题
Machine learning optical proximity correction with generative adversarial networks
基于生成对抗网络的机器学习光学邻近校正
相关领域
光学接近校正 计算机科学 人工智能 像素 平版印刷术 深度学习 计算机视觉 模式识别（心理学） 光学 过程（计算） 操作系统 物理
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.041606
DOI
10.1117/1.jmm.21.4.041606 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Weilun Ciou; Tony Hu; Yi-Yen Tsai; Chung-Te Hsuan; Elvis Yang; et al
出版日期：2022-11-23
求助人
无限萤 在 2025-12-27 12:34:08 发布自山东，悬赏 20 积分
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