Microstructure, oxidation and H2-permeation resistance of TiAlN films deposited by DC magnetron sputtering technique

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标题	Microstructure, oxidation and H2-permeation resistance of TiAlN films deposited by DC magnetron sputtering technique 直流磁控溅射TiAlN薄膜的组织、氧化及抗氢渗透性能相关领域材料科学微观结构溅射沉积扫描电子显微镜锡溅射涂层冶金渗透化学工程薄膜复合材料纳米技术膜生物遗传学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2003.10.021
DOI	10.1016/j.surfcoat.2003.10.021 doi
求助人	clean 在 2025-12-26 17:56:53 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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