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标题
Smooth and Vertical Sidewall Formation for AlGaN-Based Electronic and Optoelectronic Devices
用于AlGaN基电子和光电子器件的平滑和垂直侧壁形成
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 各向同性腐蚀 氢氧化铵 反应离子刻蚀 感应耦合等离子体 光电子学 干法蚀刻 表面光洁度 纳米技术 等离子体 图层（电子） 复合材料 化学工程 物理 工程类 量子力学
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ad6f43
DOI
10.1149/2162-8777/ad6f43 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Arnob Ghosh; Agnes Maneesha Dominic Merwin Xavier; Siddharth Rajan; Shamsul Arafin
出版日期：2024-08-01
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传奇3 在 2025-12-06 13:15:06 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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