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Investigation on UV solid-state nanosecond laser micromachining of microstructures on sapphire wafer 蓝宝石晶片上微结构的紫外固体纳秒激光微加工研究
相关领域
材料科学
扫描电子显微镜
激光器
蓝宝石
纳秒
表面微加工
光学
薄脆饼
光电子学
X射线激光器
波长
显微镜
紫外线
激光功率缩放
复合材料
制作
医学
物理
替代医学
病理
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期刊: 作者:Litao Qi; Yasheng Liu 出版日期:2019-11-19 |
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