| 标题 |
 通过 EDOT/SbCl5 化学和基于光刻胶的剥离制备的 oCVD PEDOT 纳米层的横向微结构 相关领域
光刻胶
佩多：嘘
材料科学
纳米技术
Lift（数据挖掘）
聚合物
复合材料
图层（电子）
计算机科学
数据挖掘
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 | 氧化化学气相沉积 （oCVD） 将共蒸发的单体和氧化剂物质转化为导电聚合物薄膜，这些薄膜具有很高的表面与衬底拓扑结构的一致性。然而，FeCl3 作为传统的 oCVD 氧化剂也有缺点，例如需要后冲洗以从衬底表面去除未反应的颗粒，或者需要将坩埚安装在沉积室内，这会导致反应器体积增加，前驱体消耗增加，最终成本更高。我们提出了一种自行设计的紧凑型 oCVD 反应器，并展示了通过采用挥发性更强的液体 SbCl5 氧化剂和 EDOT 单体化学，无需任何后处理即可在最大 5 cm 的氧化硅衬底上合成均匀的 oCVD PEDOT 涂层。通过筛选各种 oCVD 反应器参数（衬底温度、单体温度、沉积时间和氮载气流量）的影响，系统研究了沉积态 PEDOT 层的生长速率、薄层电阻和光学透射率。我们使用基于光刻胶的剥离工艺获得 10 至 2000 μm 宽的 oCVD PEDOT 条带，并集成金属接触电极以进行后续的转移长度法 （TLM） 表征。在比较两种不同制造方案的 TLM 衍生电导率，即“PEDOT 最后”（∼312 S/cm）和“PEDOT 优先”（∼306 S/cm）与在非图案化 PEDOT 参考 （∼350 S/cm） 上进行的四点探针测量后，我们认为微图案化过程对 oCVD PEDOT 的电性能影响可以忽略不计。 我们的 TLM 分析还显示，图案化 PEDOT/金属界面表现出非常低的接触电阻率 （ρc < 10–2 Ω cm2），在最佳情况下（ρc = 7.1·10–4 ± 2.5·10–4 Ω cm2）比 PEDOT：PSS 的当前记录低约 1 个数量级。我们的结果表明，紧凑型 oCVD 反应器与 EDOT/SbCl5 化学和光刻工艺的结合是实现高度集成导电聚合物器件微纳加工的一条有前途的途径。 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
浮游
淡淡的南风
pcr163
风清扬
子车茗
zcl
GingerF
Xiaoxiao
Dean
无极微光
带头大哥
laber
Criminology34
不配.
Hilda007
eric888
朝阳区李知恩
lsl
从容芮
小青椒
唐泽雪穗
丘比特
浪子
tuanheqi
浮浮世世
殷勤的紫槐
Yoanna
遇上就这样吧
皖公网安备34019202002308
