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标题
Femtosecond-Laser-Induced All-Silicon Dielectric Metasurfaces Assisted by Wet Chemical Etching
湿法化学刻蚀辅助飞秒激光诱导全硅介质超表面
相关领域
材料科学 硅 光刻 电介质 反应离子刻蚀 混合硅激光器 飞秒 光电子学 蚀刻（微加工） 平版印刷术 各向同性腐蚀 微加工 制作 激光器 纳米技术 光学 图层（电子） 医学 替代医学 病理 物理
网址
https://doi.org/10.34133/ultrafastscience.0019
AI链接 science.orgdoi.org
DOI
10.34133/ultrafastscience.0019 doi
其它 期刊：Ultrafast Science
作者：Ioanna Sakellari; Sotiris Droulias; Andreas Lemonis; Emmanuel Stratakis
出版日期：2023-01-01
求助人
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