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 Investigation of silicon-on-insulator back-gate nano vacuum channel transistor array 绝缘体上硅背栅纳米真空沟道晶体管阵列的研究
相关领域
材料科学
晶体管
光电子学
跨导
栅氧化层
静电感应晶体管
场效应晶体管
场电子发射
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电气工程
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：K.C.-K. Weng; Changsheng Shen; Zhaofu Chen; Ningfeng Bai 出版日期：2024-02-02 |
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