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标题
Investigation of silicon-on-insulator back-gate nano vacuum channel transistor array
绝缘体上硅背栅纳米真空沟道晶体管阵列的研究
相关领域
材料科学 晶体管 光电子学 跨导 栅氧化层 静电感应晶体管 场效应晶体管 场电子发射 电压 电气工程 工程类 电子 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003346
DOI
10.1116/6.0003346 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：K.C.-K. Weng; Changsheng Shen; Zhaofu Chen; Ningfeng Bai
出版日期：2024-02-02
求助人
lau 在 2025-08-30 02:53:45 发布，悬赏 10 积分
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