Numerical evaluation on surface temperature uniformity of multi-zone and single-zone ceramic heaters with the electrostatic chuck

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标题	Numerical evaluation on surface temperature uniformity of multi-zone and single-zone ceramic heaters with the electrostatic chuck 相关领域材料科学陶瓷 GSM演进的增强数据速率流利冷却液模具（集成电路）机械复合材料光学机械工程计算机模拟工程类物理电信纳米技术
网址	https://doi.org/10.1007/s12206-021-0745-3
DOI	10.1007/s12206-021-0745-3 doi
其它	期刊：Journal of Mechanical Science and Technology 作者：Hyung Ju Lee; Seong Hyuk Lee 出版日期：2021-07-22
求助人	守望者在 2025-10-10 15:29:18 发布自中国，悬赏 10 积分
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