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Low-temperature growth of wafer-scale amorphous boron nitride films with low-dielectric-constant and controllable thicknesses
相关领域
材料科学 薄脆饼 无定形固体 氮化硼 拉曼光谱 电介质 光电子学 结晶度 复合材料 光学 结晶学 物理 化学
网址
DOI
10.1088/1361-6528/adb293 doi
其它 期刊:Nanotechnology
作者:Hang Zheng; Zihao Wan; Wing Man Tang; Xianlei Huang; Zhenjia Zhou; et al
出版日期:2025-02-05
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阿江 在 2025-10-11 10:03:20 发布自中国台湾,悬赏 10 积分
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