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标题
High volume manufacturing of optical MEMS devices using biomass nano-patterning materials and ecofriendly developable lithography processes
相关领域
纳米光刻 平版印刷术 四甲基氢氧化铵 纳米技术 微电子机械系统 材料科学 纳米- 纳米材料 制作 光电子学 复合材料 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2324962
DOI
10.1117/12.2324962 doi
其它 期刊：
作者：Satoshi Takei
出版日期：2018-10-09
求助人
zyc 在 2025-10-27 10:42:06 发布自贵州，悬赏 20 积分
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