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An elastic cross section model for use with Monte Carlo simulations of low energy electron scattering from high atomic number targets 用于高原子序数靶低能电子散射蒙特卡罗模拟的弹性截面模型
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者:R. Browning; T. Eimori; E. P. Traut; Benjamin W. Chui; R. F. W. Pease 出版日期:1991-11-01 |
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