3D microstructures fabricated by prism-assisted inclined UV lithography

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标题	3D microstructures fabricated by prism-assisted inclined UV lithography 相关领域材料科学平版印刷术光刻胶光学棱镜微观结构制作浸没式光刻光电子学光刻抵抗紫外线纳米技术复合材料病理物理医学替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.908191
DOI	10.1117/12.908191 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Guomin Jiang; Sarfaraz Baig; Michael R. Wang 出版日期：2012-02-07
求助人	badjack 在 2025-10-07 21:17:49 发布自北京，悬赏 20 积分
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