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 Effect of the Si/Ti Ratio on the Structure and Mechanical Properties of Plasma-Enhanced Magnetron Sputtered TiSiCN Coatings Si/Ti比对等离子体增强磁控溅射TiSiCN涂层结构和力学性能的影响
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期刊：Journal of Materials Engineering and Performance 作者：Wantao Jin; Bing Zhou; Yong Ma; Zhubo Liu; Yongsheng Wang; et al 出版日期：2022-01-21 |
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