ReaxFF molecular dynamics of chemical reaction mechanism of SiC crystal with alcoholic additives in CMP

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标题	ReaxFF molecular dynamics of chemical reaction mechanism of SiC crystal with alcoholic additives in CMP CMP中SiC晶体与醇类添加剂化学反应机理的ReaxFF分子动力学研究
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092702562...
DOI	10.1016/j.commatsci.2025.114026 doi
其它	期刊：Computational Materials Science 作者：Lei He; Jun Li; Chao Tang; Kai Chen; Liantong Yang; Jialong Si 出版日期：2025-06-10
求助人	砂锅粥在 2025-06-13 10:30:30 发布自广东，悬赏 10 积分
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